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凈化工作臺及過濾器在芯片廠中的應(yīng)用

更新時間:2024-05-22      點擊次數(shù):2535
  凈化工作臺及過濾器在芯片廠中的應(yīng)用
 
  我們都知道粘在集成電路上的粉塵可能造成斷路、短路,粉塵直接影響一些配件產(chǎn)品的成品率。當(dāng)今,半導(dǎo)體工業(yè)(芯片廠)對生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度高挑剔,對空氣過濾器的要求也苛刻,生產(chǎn)操作基本都是在潔凈工作室中凈化工作臺中操作。
 
  衡量芯片集成度的指標(biāo)之一是“線寬”,即電路上導(dǎo)線的寬度。在以微米計算線寬的年代,人們說制造環(huán)境對粉塵粒徑的限制是小于線寬的 1/10,隨著線寬不斷變小,1/10之說又變成了1/4、1/2。2002年,普通微機中P4處理器的線寬縮小到了0.13mm,此時任何粉塵都可能損害電路,粒徑與線寬的傳統(tǒng)比較已經(jīng)過時了。
 
  芯片廠傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是“大循環(huán)”,車間的整個天花板上布滿過濾器,整個地面為回風(fēng)柵板?,F(xiàn)在芯片廠有些車間使用自帶風(fēng)機的過濾裝置, 即FFU。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達(dá)到足夠的潔凈度,只是在運行管理和能耗上有所差異。
 
  不論是普通過濾器還是FFU,出廠前都要經(jīng)過逐臺掃描測試。目前沒有掃描測試方法標(biāo)準(zhǔn),能擠進芯片廠的過濾器是按歐美標(biāo)準(zhǔn)對過濾器進行掃描測試的。芯片廠的人認(rèn)為,過濾器傳統(tǒng)檢驗方法用的試驗粉塵本身就是污染源,所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的帳。
 
  空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵,但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大, 普通過濾器就能將其過濾掉。有人說搞電子工業(yè)的理想地點應(yīng)該遠(yuǎn)離海岸,可沿海地區(qū)經(jīng)濟發(fā)達(dá),芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū),在過濾器上多花點錢就是了。20世紀(jì)90年代初,曾對過濾器玻纖濾紙的含硼問題爭吵了一陣,隨后,過濾器的微量揮發(fā)元素成了芯片廠關(guān)注的事情。近幾年,出現(xiàn)了聚四氟乙烯纖維過濾材料,這種材料沒有揮發(fā)物,但它是帶靜電的“駐體”,少了個隱患,多了個麻煩,過濾后的空氣要進行電中和以消除空氣中的離 子。目前這種材料的偏高,大部分過濾器仍使用玻璃纖維濾紙。凈化工作臺的過濾器上可能的微量揮發(fā)元素主要來源于粘結(jié)劑和清洗劑,為芯片廠供貨的過濾器廠商要在這上面下些功夫。
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