国产欧美精品,做暖免费视频一区二,精品十区,波多野结衣无码在线直播

您好!歡迎訪問浙江孚夏醫(yī)療科技有限公司網(wǎng)站!
全國服務(wù)咨詢熱線:

15805857926

article技術(shù)文章
首頁 > 技術(shù)文章 > 集成電路無塵車間設(shè)計施工要求

集成電路無塵車間設(shè)計施工要求

更新時間:2016-12-13      點(diǎn)擊次數(shù):3434

  集成電路無塵車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室,該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室,集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

  根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型:循環(huán)空調(diào)機(jī)配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

  *種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設(shè)計中被廣泛應(yīng)用,對于大面積高等級的潔凈車間則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。

  第二種形式的設(shè)計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求,但運(yùn)行成本較高,并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難,系統(tǒng)升級改造困難,因此操作靈活性很低。

  第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進(jìn)行系統(tǒng)升級和調(diào)整,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為主要的凈化設(shè)計方案。

  FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點(diǎn)是:整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成,由FFU循環(huán)空氣的動力,將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過過濾器送入工藝層和工藝輔助層,靜壓層相對于工藝層為負(fù)壓。此外,還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域,包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、純水供應(yīng)等。

  集成電路制造對無塵車間環(huán)境的控制有較為嚴(yán)格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同,例如光刻要求在1級的微環(huán)境下,而化學(xué)機(jī)械研磨則只要求1000級的環(huán)境即可。

  另外,集成電路制造潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)定和要求,尤其是振動的控制,在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計上就要有所要求。

  好的潔凈車間設(shè)計不僅能節(jié)省能源、降低運(yùn)行成本、降低人力投入,而且可以給生產(chǎn)安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中,F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運(yùn)行成本低,潔凈度安全性高,因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高,溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運(yùn)行成本越高,因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下,將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計趨勢。

  集成電路制造是高能耗的產(chǎn)業(yè),而潔凈空調(diào)系統(tǒng)的能耗則占其中的30%以上,因此節(jié)能安全的潔凈室設(shè)計和各種熱能回收設(shè)計將是未來的發(fā)展方向。

  隨著集成電路制造技術(shù)的不斷升級,主流大廠已經(jīng)進(jìn)入了納米時代,集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計建造和節(jié)能創(chuàng)新也需要不斷提升,為制程產(chǎn)品生產(chǎn)保障。

 

   凈化設(shè)備有限公司位于浙江省紹興市上虞區(qū)道墟鎮(zhèn),是華東地區(qū)凈化設(shè)備行業(yè)中的制造商之??砂碔SO14644-1標(biāo)準(zhǔn)、GB50073-2001國家標(biāo)準(zhǔn)及國家GMP規(guī)范要求為微電子、生物醫(yī)藥、醫(yī)院手術(shù)室、光纖光纜、食品飲料、精密儀器、半導(dǎo)體及新材料應(yīng)用等行業(yè)的空氣凈化系統(tǒng)工程設(shè)計、施工、檢測及技術(shù)服務(wù)。
   公司主營凈化工作臺系列、風(fēng)淋室系列、通風(fēng)柜系列,生物安全柜系列被廣泛應(yīng)用于醫(yī)療衛(wèi)生、電子、制藥、生物、食品、農(nóng)林、畜牧獸醫(yī)、檢驗檢疫、航空航天、汽車制造、精密儀器、大專院校和各科研機(jī)構(gòu),在和東南亞市場享有高的聲譽(yù)。

版權(quán)所有 © 2025 浙江孚夏醫(yī)療科技有限公司(www.dwktl.cn) All Rights Reserved    備案號:浙ICP備12047565號-2    sitemap.xml    管理登陸    技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)
亚洲国产综合人成综合网站| 色一情一乱一伦一区二区三欧美| 国产欧美亚洲国产一区二区三区 | 国产黄片免费| 成人爽a毛片免费| 妺妺窝人体色www婷婷| 亚洲愉拍99热成人精品热久久| 齐齐哈尔市| 攀枝花市| 巴南区| 景东| 国产打屁股| 亚洲国精产品一二二线| 国产精品99| 免费A级毛片无码无遮挡| 最近2019年日本中文免费字幕| 在线观看热码亚洲av每日更新| 亚洲AV中文乱码一区二| 亚洲夂夂婷婷色拍ww47| 亚洲国产精久久久久久久| 日韩av毛片| 国产一级性生活片| 性少妇bbwbbwbbwhd| 国内自拍网| 国产∨亚洲V天堂无码久久久| 亚洲午夜无码精品福利在线看| 熟女俱乐部五十路六十路| 亚洲欧美综合区自拍另类| 中文字幕精品亚洲无线码VR| 精品久久久久久国产潘金莲 | 亚洲成A∧人片在线播放黑人| 久久永久免费人妻精品下载| 国产欧美精品AAAAAA片| 一本色道久久88精品综合| 天天做天天摸天天爽天天爱| 免费精品一区二区三区| 亚洲色欲在线播放一区| 永久免费的AV在线网无码| 乱lun岳80部分| 欧美色| 国产亚洲精品久久yy50|